⑴ 掃描電鏡的解析度是多少 掃描電鏡的解析度受哪些因素影響
一、掃描電鏡的解析度是多少
掃描電鏡以其高解析度而著稱，其景深較長，這一特性使得它在材料學、物理學、化學、生物學、考古學、地礦學以及微電子工業等領域得到了廣泛應用。那麼，掃描電鏡的解析度具體是多少呢？
普通掃描電鏡的解析度通常能達到幾納米級別，而場發射掃描電鏡的解析度則可達到1納米，這一水平已經十分接近透射電鏡的解析度。相比之下，光學顯微鏡只能在低倍率下使用，而透射電鏡則需要在高倍率下操作，掃描電鏡則可以在幾倍到幾十萬倍的范圍內連續調整，實現了對樣品從宏觀到微觀的全面觀察和分析。
二、掃描電鏡的解析度受哪些因素影響
影響掃描電鏡解析度的因素有很多，我們來逐一分析。
1、掃描電子束斑直徑
束斑直徑的大小直接影響電鏡的解析度。理想狀態下，電鏡的解析度不可能低於束斑直徑，因此束斑直徑越小，電鏡的分辨能力就越強。束斑直徑主要由電子光學系統（如電子槍等）決定。
2、入射電子束在樣品中的擴展效應
入射電子束在樣品中的擴展效應是影響解析度的關鍵因素之一。例如，不同的入射電子能量會導致不同的作用區域，高加速電壓時，入射電子能量高，作用深度大，不同深度的信號疊加，難以清晰地表徵材料的表面細節；而低加速電壓時，入射電子能量低，作用深度淺，可以提高空間解析度。
3、成像所用信號種類
成像所用信號的種類也會影響解析度。二次電子和背散射電子作為調制信號時，解析度是不一樣的，後者通常低於前者。信號本身的能量和信號取樣的區域范圍也會影響解析度。
⑵ 掃描電鏡的解析度受哪些因素影響用不同的信號成像時，其解析度有何不同
掃描電鏡的解析度受到多個因素的影響。首先，入射電子束束斑直徑是決定解析度的極限因素，場發射電子槍可以使束斑直徑小於3nm。其次，入射電子束在樣品中的擴展效應也會影響解析度，擴散程度取決於入射束電子能量的高低和樣品原子序數的大小。另外，調制信號的解析度與信號本身的能量和信號取樣的區域范圍相關，例如二次電子的解析度較高。
在各種信號成像時，解析度也有所不同。二次電子和俄歇電子的解析度最高，背散射電子次之，吸收電子和特徵X射線的解析度最低。這主要是因為不同信號的能量和散射程度不同，導致成像效果和解析度有所差異。
綜上所述，掃描電鏡的解析度受到多個因素的影響，包括入射電子束束斑直徑、入射電子束在樣品中的擴展效應以及調制信號的能量和取樣范圍等。同時，不同信號成像時的解析度也有所不同，其中二次電子和俄歇電子的解析度最高。